Preciznost metody je definována jako míra shody mezi výsledky získanými opakovanou analýzou téhož vzorku za předem stanovených podmínek. Počet opakování musí být dostatečně velký, aby umožňoval statistické vyhodnocení; obvykle se za dostačující považuje dvacet. Podle podmínek, za kterých stanovení probíhá, rozlišujeme:

Preciznost je statistickým vyhodnocením náhodných chyb, které není možné zcela eliminovat. Odchylují výsledky od průměrné hodnoty na obě strany. Mírou rozptylu výsledků je směrodatná odchylka (s, SD = standard deviation). SD uvádíme v jednotkách, ve kterých měříme příslušný analyt. Proto při porovnávání preciznosti mezi různými metodami obvykle počítáme tzv. relativní směrodatnou odchylku neboli variační koeficient (CV), vyjadřovaný většinou v %:

CV (%) = (s/x̄) × 100

Preciznost metody není stejná v celém rozsahu koncentrací, jak ukazuje tzv. profil preciznosti. Nejlepší preciznost bývá většinou přibližně uprostřed koncentračního rozsahu, směrem k nízkým i vysokým koncentracím se snižuje. Použitelný rozsah koncentrací (pracovní rozsah) se z profilu preciznosti snadno graficky určí tak, že se vybere maximálně akceptovatelný variační koeficient (např. 10 %) a promítne se na osu koncentrace. Nejnižší koncentrace, při níž metoda vykazuje ještě akceptovatelnou preciznost (variační koeficient), se někdy nazývá limit kvantifikace (dříve funkční citlivost) a je často používána např. u imunochemických metod.